自動挿入機、機械装置。この装置は、クリーニングの前にシリコンウェーハ用のクリーニングバスケットを手動でロードするという問題を解決し、自動給餌、自動給餌、自動バスケット給、自動バスケット交換、およびフルストックアラームを完全に実現します。この装置を使用した後、シリコンウエハ挿入の基本的な手作業を実現することができ、上下の材料を除いて、手作業は不要です。
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自動挿入機の導入
Jul 18, 2021
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